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直线电机(MMLC-A型)

  切割速度快,对于单台面玻璃钝化二极管晶圆的切割速度达到了150mm/s,是传统刀片划片机正切速度。

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  直线电机类似于一台旋转电机解剖摊开来进行运转。在一台旋转电机中,相同的电磁效应产生的是转矩,而在直线电机中,产生的是直接推动力。
  在许多应用中,相比较传统的旋转驱动系统而言,直线电机具有明显的优势。比如,直线电机不需要通过像齿轮、滚珠丝杠、或皮带传动这样的中介机械构件将电机连接到负载上,负载直接连接到直线电机上,这样就没有来自运动部件的间隙和弹性,因而伺服控制的动力表现得以提高,更高水平的精度也得以实现。
  因为直线电机没有机械传动组件,所以是一个低惯性及低噪音的驱动系统。另外,机械磨损只在导向系统中出现。因此,直线电机具有比传统旋转驱动系统更好的可靠性及更低的摩擦损耗。

切割速度快,对于单台面玻璃钝化二极管晶圆的切割速度达到了150mm/s,是传统刀片划片机正切速度;
免维护;
无滚珠丝杠副、齿轮箱、齿条与齿轮、传动皮带/ 皮带轮;
零间隙和柔度;
高刚度;
高定位精度;
紧凑的机械装配;
减少了机器中的零部件数量;
速度非常平稳;
静音运行。

 

本产品主要用于以下领域:

1.半导体生产制造设备,包括晶圆制造和晶片封装设备等; 
2.平板显示器产业(FPD)精密测试设备、硬盘制造、连接器制造、印刷制板设备等;
3.生命科学、医疗设备、机器视觉检测设备、各种取放装置;
4.电子元件表面贴装、PCB检测设备等;
5.物流设备装置等。

直线电机系统和旋转电机+丝杆的比较

比较内容直线电机系统旋转电机+滚珠丝杠
最大推力(N)<22000<24000
最大加速度(g)>10<1Δ
最大速度(m/s)51.5Δ
最大行程(m)不受限制<6
精度(μm/300mm)0.510
重复精度(μm)0.15
反向间隙无(直接驱动)3~50(有中间机械传动部件)Δ
运行平稳性
效率
刚度
使用寿命
成本
主要应用要求精度高,速度大,响应快的设备普通应用
项 目单位MMLC-0027MMLC-0050MMLC -0086
078-A-02-00135-A-02-00255-A-02-00
连续推力N275086
连续电流Arms1.81.681.45
最大推力N81150258
最大电流Arms5.45.054.35
功率损耗W22.7339.4757.69
机械参数
线圈板长度mm78135255
线圈板宽度mm30
线圈板高度mm63.5
线圈板重量Kg0.220.390.72
磁石板重量Kg/m7.92
电气参数
马达常数N/√W5.747.9311.3
(DC马达换算/3相)
推力常数N/ Arms15.229.659.5
反电动势常数(线间)Vp/m/s12.424.248.6
电阻(线间) @25℃Ω4.649.318.6
电感(线间)mH1.513.046.02
放热系数℃/W3.31.91.3
1. 放热系数是有放热板的(200*200*15  250*250*12)
2. 使用时间为1秒。
3. 所有规格有10%的误差
备注:本公司保留对上述参数更改的权利。若您对机器有特殊要求,我们可专门定制,欢迎来电洽谈。
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