AR光波导高折玻璃激光加工智能产线-华工激光

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AR光波导高折玻璃激光加工智能产线

围绕AR眼镜光波片加工需求，推出全球首条光波导玻璃晶圆激光加工智能产线，设备可满足8‑12inch 玻璃晶圆的激光打码/读码、切割全自动加工。

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产品优势
技术参数
样品展示

产品优势

01

采用半导体机器人，兼容8‑12inch玻璃晶圆全自动加工
02

可加工高折射玻璃厚度≥1.5mm，折射率＞1.8
03

采用自研紫外皮秒激光，最小可实现≥0.2*0.2mm 二维码激光打标，支持SEMI字体
04

采用自研高功率红外飞秒激光，激光功率≥100W，单脉冲能量＞1mj，窄脉宽＜300fs，稳定高效
05

配备自研LCO技术，切割崩边＜10μm，加工质量提升5倍，加工强度提升50%
06

配备华工智能搬运技术，可以自动识别避开光学区域，智能调整机器人抓取位置和角度，实现智能抓取

技术参数

激光参数	平均输出功率	10W
	脉冲宽度	＜10ps
	激光波长	355nm
	重复频率	400‑2000KHz
加工性能	加工尺寸精度	±20μm
	加工位置精度	±25μm
	加工崩边尺寸	≤10μm
	最小打码尺寸	≥0.2mm*0.2mm
其他	整体尺寸	6750mm3350mm2100mm
	设备重量	9T （单位面积承重＜750kg）
	整机功率	8KW

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