整体介绍：人机工程学设计结构紧凑便于产线布局

自动搬运：伯努利无接触式真空吸附搬运，检损率＜0.01%

正面检测：正面自动寻边定位读码，利用算法，对冶具支持部分在衬底成像中的印记进行淡化

对焦系统：高精度实时对焦系统，确保镜头焦距跳动不超过1微米，共享自动对焦数据

缺陷检测：缺陷成像清晰度较传统方式提升25%，让缺陷更易识别

缺陷分类识别：高精度缺陷分类识别，缺陷分类能力准

高速成像技术：分辨率提升100%、数据量增长400%、处理时间缩减5%

背面检测：自动翻面，背面自动寻边定位数码，HG自研Abrain算法高效学习理解缺陷特征