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搭载自动搬运与涂胶清洗模块，流程高效
正/背面视觉定位，切割精度更可靠
支持全切，最大切割厚度0.5mm，崩边控制在10μm以内
| 项 目 | 主要技术参数 | |
| 主要参数 | 装备型号 | LUD2201 |
| 光源 | 紫外纳秒/皮秒 | |
| 上下料方式 | 全自动、CSTto CST | |
| 加工材料 | 6/8inch SOl晶圆 | |
| 加工速度 | ≥300mm/s | |
| 加工性能 | 加工精度 | ≤±5μm |
| 厚度 | ≤0.5mm | |
| 崩边能力 | ≤10μm | |
