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紫外皮秒激光，热影响区极小
兼容SOI玻璃/树脂/高反膜层
槽宽槽深可控，不损伤基底膜层
可集成涂胶清洗，流程高效简洁
| 项 目 | 主要技术参数 | |
| 主要参数 | 装备型号 | LUG2301 |
| 光源 | 紫外，皮秒 | |
| 上下料方式 | 自动上下料 | |
| 加工性能 | 加工材料 | 兼容SOl晶圆、玻璃晶圆、树脂、HR高反膜层等软硬脆材料 |
| 加工速度 | ≥300mm/s | |
| 加工精度 | ≤5μm | |
| 形貌指标 | 降起高度≤5μm,底面平整度≤2μm | |
