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通过自主开发的动态焦点补偿模块，配合高精密气浮直线运动平台，实现高精度、高一致性晶圆加工，加工质量达到行业领先水平
配置标准设计隐切外光路黑盒子，稳定传送激光光束，稳定输出激光能量，加工稳定性好
自主开发切割和视觉软件，提供定制化功能模块，定制化程度高，满足行业需求
自主开发切割视觉软件，支持功能定制
精度效率达到国际同级水平
搭载超快激光与光学系统，加工传输稳定
| 项 目 | 主要技术参数 | |
| 主要参数 | 装备型号 | LUSD3310 |
| 激光光源 | 红外 | |
| 上下料方式 | 全自动、CST to CST | |
| 加工性能 | 加工材料 | 6/8inch SiC |
| 加工精度 | ≤±3μm | |
| 加工速度 | ≥500mm/s | |
