全站搜索
返回
搭载在线监测模块，光源稳定可靠
纳秒级局部加热，无高温热损伤
兼容6/8inch SiC及减薄、键合晶圆
光斑均一性≥95%，退火效果均匀
| 项 目 | 主要技术参数 | |
| 主要参数 | 装备型号 | LUA3200 |
| 激光光源 | 紫外、绿光 | |
| 平均功率 | ≥20W | |
| 上下料方式 | 全自动 | |
| 加工性能 | 晶圆尺寸 | 6/8inch |
| 比接触电阻率 | 10-⁵Q/cm² | |
| 氧含量控制 | ≤100ppm | |
| WPH | 18pcs@6inch,10pcs@8inch | |
