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兼容60-450μm脆性材料晶圆
线性应力加载，无崩边、无撕裂
CCD自动修正，劈裂精准高效
全自动/手动模式，一键切换
| 项 目 | 主要技术参数 | |
| 主要参数 | 装备型号 | HUD3010 |
| 晶圆规格 | 6/8inch | |
| 适用铁环 | 标配外径228mm;内径194mm | |
| 晶圆厚度范围(μm) | 60μm~450μm(碳化硅、氮化镓、硅、蓝宝石、玻璃等脆性材料) | |
| 劈裂效果检查 | 可以用不同方式进行补偿 | |
| CCD定位 | 通过CCD来定位下刀位置 | |
| 加工性能 | 一键切换 | 可以自动(4种路径可选)手动劈裂方式 |
| 一键换刀 | 一键自动换刀 | |
| 衬底材料 | 碳化硅、玻璃、石英、硅等 | |
