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灵睛系列Aeye0813设备，面向光芯片产业链中上游基础材料，采用独立开发的多通道光学检测系统，对铌酸锂衬底( LiNbO₃)、磷化铟衬底(InP)、砷化镓衬底(GaAs)、以及蓝宝石衬底的外观缺陷进行检测。
根据待检品的不同透光状态配备不同的光学系统，缺陷识别能力和检出率有提升，满足客户不同工艺阶段的检测需求
结合实际生产需求设计半导体专用晶圆机械手搬运和皮带线搬运两种方案，满足不同客户不同生产场景需求
现场收集的图片可以通过远程训练方式提升软件学习能力，减少现场训练占用产线生产时间，快速保证设备导入的顺畅
