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自动晶圆激光开槽智能装备LUD1301

硅晶圆正反半切/全切激光开槽装备,全局视觉定位,适配整片与残片加工,提升硅晶圆划切精度与良率。

产品优势
  • 01
    精定位

    全局视觉识别,适配整片/残片

  • 02
    全功能

    支持正反半切、全切加工

  • 03
    高精度

    加工精度≤±5nm,切割效率高

技术参数
项 目主要技术参数
主要参数装备型号LUD1310
光源532nm绿光皮秒;355nm紫外皮秒/厂飞秒
上下料方式全自动、CST to CST
加工性能加工材料Low-k晶圆、硅基GaN晶圆
加工精度≤±1μm
加工速度≥300mm/s


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