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| 项目 | 技术参数 | |||
| 激光系统 | 激光光源 | 飞秒激光器 | ||
| 激光波长 | 1035nm | |||
| 最大输出功率 | 30W | |||
| 加工性能 | 整机精度 | ± 3um | ||
| 单次加工幅面 | 510×515mm | |||
| XY平台行程 | 800×800mm | |||
| XY定位精度 | ± 1um | |||
| Z轴行程 | 20mm | |||
| Z轴定位精度 | ±10um | |||
| CCD | 500万像素 | |||
| 玻璃厚度 | ≤1mm | |||
| 可加工孔大小 | 视刻蚀工艺而定 | |||
| 使用环境 | 供电规格 | AC220V/50Hz/4KW | ||
| 镜头倍率 | 1倍 | |||
| 环境要求 | 22±1℃/24HR内 | |||
| 整机尺寸 | 2100*2150*2250mm | |||
