2025行家说 

12月3-4日，2025行家说三代半年会在深圳举行，华工激光精密事业群销服总监肖冲受邀发表主题演讲。同期极光奖颁奖典礼上，华工激光获评“第三代半导体年度生态链配套企业奖”，全自动晶圆激光退火智能装备获“年度优秀产品奖”。

夯实产业生态根基

肖冲总监在演讲中指出，面对SiC等化合物半导体对“更大尺寸、更高良率、更低成本”的制造需求，华工激光作为化合物半导体激光及量测装备领导品牌，聚焦高端晶圆激光加工装备进行全方位战略布局，围绕三大材料，布局激光加工与量测两大产品线，形成覆盖全工序的六类核心装备，为客户提供从关键工艺到整线整合的完整解决方案。

从单点设备到全线工艺，华工激光构建覆盖衬底检测、激光标刻、欧姆接触激光退火、晶圆表切开槽、晶圆改质隐形切割、自动裂片等SiC制造关键工序的完整产品矩阵，实现了对SiC器件前道制造与后道封装关键环节的全流程贯通，始终以技术创新驱动产业生态的完善，为产业发展提供坚实的技术底座与装备支撑。

赋能产业关键环节

本次荣获年度优秀产品奖的全自动晶圆激光退火智能装备，是华工激光针对SiC欧姆接触退火推出的最新一代量产型智能装备，关键指标居行业领先水平，目前已实现产业化突破，实现了从理论基础到装备层面的跨越。

全自动晶圆

激光退火智能装备 

Annealing系列- LUA3200

SiC领域激光加工行业解决方案专家

行业效率最高

专用于6-8英寸SiC晶圆背面Ni层的激光退火，通过非接触式加工实现精准温控，促使Ni层与SiC衬底形成稳定欧姆接触，有效降低界面接触电阻，提升SiC功率器件的电学性能与长期可靠性。

6英寸SiC背金退火图及断面效果

高效量产：

采用第三代光束整形技术，退火效率提升50%以上，1小时可处理6英寸晶圆18片。

稳定优良：

光斑均匀性≥95%，退火后比接触电阻率＜10⁻⁵ Ω·cm²，批次一致性高。

智能管控：

集成在线质量监测与智能表面分析系统，有效抑制析碳，非退火面温度＜120℃。

华工激光退火设备全面通过“车规级”认证标准，已在国内多家头部客户产线实现量产应用，实现了从“装备出厂”到“产品上车”的可靠闭环，是客户在SiC制造领域最信赖的伙伴，以稳定可靠的性能赢得市场认可。

作为化合物半导体激光及量测装备领导品牌，公司将持续深化技术融合与生态协同，以领先的激光与量测解决方案，携手全球合作伙伴共同推进第三代半导体产业向更高效、更智能的制造新阶段迈进，持续为产业生态创造核心价值。

关于华工激光

华工激光是中国激光工业化应用的开创者、引领者，全球激光加工解决方案权威提供商。我们全面布局激光智能装备、量测与自动化产线、智慧工厂建设，为智能制造提供整体解决方案。

我们深刻把握制造业发展趋势，从精密微纳激光装备到超高功率激光装备，为您提供包括全功率系列的 激光切割 装备、 激光焊接 装备、 激光清洗 装备、 激光标记 装备、 激光热处理 装备、 激光3D打印 装备、 激光打孔 装备、 检测 装备、激光器及各类配套器件、 激光加工 专用装备等产品及 解决方案。